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真空泵技术3

日期:2018-01-05 浏览:
真空获得技术
真空获得技术真空获得技术
属动量传递真空泵。实用的分子泵是涡轮分子泵,其工作原理是依靠高速运动的物体表面把定向速度传递给入射表面的气体分子,造成泵出口、入口的气体分子正向、反向传输几率的差异而产生抽气作用。涡轮分子泵典型结构见图4a,它由涡轮叶片组件


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